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專業(yè)產(chǎn)品
特種行業(yè)專用檢測(cè)儀

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AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)_晶圓搬運(yùn)_國(guó)產(chǎn)晶圓搬送機(jī)

全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。

詳細(xì)介紹 技術(shù)參數(shù)

全新半導(dǎo)體工業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
◆ 一個(gè)晶圓在經(jīng)過(guò)一系列復(fù)雜工序后最終變成多個(gè)IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運(yùn)機(jī)在處理站之間執(zhí)行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級(jí)厚度的晶圓很容易在傳送過(guò)程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

◆推出了AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)（晶圓搬送機(jī)），擁有 AWL046、AWL068、AWL812三種機(jī)型，多類配置分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測(cè)，適應(yīng)范圍廣、搭配靈活 。

◆AWL系列可自由設(shè)置的檢查模式，充分符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作舒適、簡(jiǎn)便，又可稱作晶圓自動(dòng)搬送機(jī)。

◆360°宏觀檢查
 AWL系列具有宏觀檢查手臂，可以實(shí)現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能、傾斜角度，完全可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。


 
◆人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)
LCD 顯示屏，可為操作者提供更直觀的視覺(jué)體驗(yàn)，可清晰的顯示當(dāng)前檢查項(xiàng)目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然。手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可提高操作者的舒適度和工作效率，充分體現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)晶圓搬送機(jī)的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)理念。


◆精密微觀檢查
采用專業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，可滿足明場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、偏光等多種觀察方式。全新電動(dòng)控制系統(tǒng)，可排查 μm 級(jí)異常，諸如孔未開出，短路，斷路，沾污，氣泡，殘留等。



應(yīng)用領(lǐng)域：




主要技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)

AWL046

AWL068

AWL812

晶圓尺寸

100mm / 150mm

150mm / 200mm

200mm / 300mm

晶圓最小厚度

150um

150um / 180um

180um / 250um

晶舟類型

Open Cassette

Open Cassette / FOUP、FOSB

檢查模式設(shè)置

全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動(dòng)選擇

晶舟掃描（有 / 無(wú) / 斜片）

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晶舟內(nèi)凸片偵測(cè)報(bào)警

≥4mm

≥5mm

晶圓預(yù)定位（平邊、Notch）

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朝向設(shè)置（平邊、Notch）

非接觸式定位平邊、Notch，支持0°、90°、180°、270°朝向設(shè)置

檢查功能

晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈、旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢2（中心）

晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈）、晶背宏檢2（中心）

外觀尺寸（W*D*H）

1450*700*1600mm

1550*700*1600mm

2400*1400*2450mm

電源需求

1P / 220V / 10A

1P / 220V / 16A

真空需求（負(fù)壓 / 正壓）

-70KPA ～ -80KPA

-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA

適用顯微鏡

6RC/8RC金相顯微鏡

光學(xué)系統(tǒng)

無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)，放大倍率50X-1000X

觀察方式

明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光、DIC

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X22mm，可帶視度可調(diào)，可帶測(cè)微尺

高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X25mm，可帶視度可調(diào)，可帶測(cè)微尺

觀察頭

鉸鏈三目觀察筒，5-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100

鉸鏈三目觀察筒，0-35度傾角可調(diào)，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm，兩檔式分光比，雙目：三目=100：0，0：100

物鏡

長(zhǎng)工作距平場(chǎng)明暗場(chǎng)半復(fù)消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X

轉(zhuǎn)換器

明暗場(chǎng)6孔電動(dòng)轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）

機(jī)架

反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm，帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機(jī)上限位裝置，內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)

明暗場(chǎng)反射照明器，帶視場(chǎng)光闌，可變電動(dòng)孔徑光闌，帶明暗場(chǎng)切換裝置，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶12V10W LED光源控制部件

明暗場(chǎng)反射照明器，帶視場(chǎng)光闌，可變電動(dòng)孔徑光闌，帶明暗場(chǎng)切換裝置，帶濾色片及偏光裝置插槽，帶12V10W LED燈箱

載物臺(tái)

6英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ38mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察范圍：170mmX170mm，帶離合器手柄

8英寸機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ60mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)行程280mm（X方向）×210mm（Y方向），觀察范圍：210mm×210mm，帶離合器手柄

12英寸自動(dòng)平臺(tái)，X、Y、Z、φ多方向調(diào)節(jié)，晶圓承片臺(tái)臺(tái)面φ70mm，可360°旋轉(zhuǎn)，移動(dòng)行程600mm（X方向）×500mm（Y方向），觀察范圍：310mm×310mm，φ方向可±5度旋轉(zhuǎn)，各軸運(yùn)動(dòng)速度可以高低速切換

其他

濾色片插板、起/檢偏鏡插板、DIC組件、攝像接口、調(diào)整平臺(tái)、相機(jī)、專業(yè)晶圓檢查軟件等

 

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